Attīstoties Ķīnas pusvadītāju rūpniecībai, procesu iekārtu galveno komponentu izstrāde ir kļuvusi par kritisku iekārtu izstrādes ierobežojumu. Pieaugot aicinājumam pēc vietējo pusvadītāju tehnoloģiju lokalizācijas, pusvadītāju nozarē tiks pārvarētas arvien vairāk sašaurinājumu tehnoloģiju. Pamatojoties uz gadu pieredzi pusvadītāju nozarē, mūsu uzņēmums ir izstrādājis dobu-vārpstas ātrgaitas-servomotoru, kas paredzēts vafeļu adsorbēšanai pusvadītāju pārklāšanas, izstrādes un tīrīšanas iekārtās. Šim motoram ir liels paātrinājums, plašs ātruma diapazons un augsta atsaucība, un nozares klienti to ir guvuši plašu atzinību.
Dobās{0}}vārpstas servomotora pielietojumi:
Ekspozīcijas un attīstīšanas iekārtas (pārklāšana, attīstīšana): galvenā iekārta fotolitogrāfijas procesiem, pārklāšanas, ekspozīcijas un attīstīšanas kontrolei.
Tīrīšanas, pārklāšanas, attīstīšanas un plēves noņemšanas iekārtas.
Piemērots fiziskai skalošanas tīrīšanai, daļiņu tīrīšanai un izsmidzināšanas procesiem.
Dobu vārpstas servomotora izstrādājumu specifikācijas un pielietojuma jomas:
750W/1000W – 5000, 6000 apgr./min
Pielietojuma apgabali (augstākās{0}}klases modeļi):
8 collu un 12 collu pusvadītāju iekārtas.
Tādi procesi kā pārklāšana, attīstīšana, tīrīšana un kodināšana.
Maksimālais paātrinājums var sasniegt 50000 R/S² momentānais paātrinājums.
Īpaša vārpstas gala konstrukcija nodrošina zemāko vārpstas gala slodzes noplūdes koeficientu.
